D07-7CM气体质量流量计,氮气氢气质量流量控制器
流量量程：5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度：±1.5％F.S.
响应时间：≤10sec

立即咨询

联系电话：010-57276308

产品详情

D07-7CM气体质量流量计,氮气氢气质量流量控制器

气体质量流量计适用于对气体质量进行精密测量。它将测量的气体质量流量转换为相应的标准状态下的气体体积流量或标准状态下的气体质量流量。

气体质量流量计具有低功耗、精度高、寿命长、重复性好、流量量程宽、稳定可靠等特点。用测试气体质量的方法对气体进行流量测量，目前在国内处于地位。

D07-7CM气体质量流量计,氮气氢气质量流量控制器技术参数：

产品型号	D07-7CM
产品类型	普通型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度	±1.5％F.S.
重复精度	±0.2% FS
线性	±1％F.S.
响应时间	≤10sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	无阀
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Female
工作压差范围	＜0.01 MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	CE
重量	0.92 Kg

,氮气氢气质量流量控制器价格

在线咨询

D07-7CM气体质量流量计,氮气氢气质量流量控制器流量量程：5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm产品精度：±1.5％F.S.响应时间：≤10sec