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D07-7B气体质量流量控制器（5SCCM-10SLM）D07-7B 气体质量流量控制器 ★高性能价格比、普通型产品★橡胶密封、模拟电路的MFC★7A型的更新换代型
产品型号：D07-7B厂商性质：生产厂家更新时间：2022-08-02访 问 量：2918
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D07-7B气体质量流量控制器（5SCCM-10SLM）
D07-7B气体质量流量控制器（5SCCM-10SLM）产品用途：
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
产品特点：
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7A型的更新换代型
★管状分流，使用寿命长
技术参数：
满量程流量范围（N2） | 5SCCM～10SLM |
控制范围 | 2～100％F.S. |
阀类型（及阀初始状态） | 电磁调节阀 （常闭） |
准确度 | ±1.5％F.S. |
线性 | ±0.5～1.5％F.S. |
重复精度 | ±0.2％F.S. |
响应时间 | ≤7sec |
工作温度范围 | 5～45℃ |
工作压差 | 0.1～0.5MPa |
耐压 | 3MPa |
漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 |
静密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） |
电连接器 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale |
动密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） |
接头选择 | VCR 1/4” |
双卡套 1/4”或φ6、φ3 | |
重量 | 1.1Kg |
详细参数：
| 产品型号 | D07-7B |
|---|---|
| 产品类型 | 普通型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
| 产品精度 | ±1.5％F.S. |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±1％F.S. |
| 响应时间 | ≤10sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V |
| 阀类型 | 常闭 |
| 温度系数 | - 无 - |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | D sub 15 pins Female |
| 工作压差范围 | (0.1～0.5) MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | - 无 - |
| 重量 | 1.1Kg |
010-57276308
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