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D07-7B气体质量流量控制器(5SCCM-10SLM)

D07-7B气体质量流量控制器(5SCCM-10SLM)
D07-7B 气体质量流量控制器
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7A型的更新换代型

  • 产品型号:D07-7B
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-02
  • 访  问  量:2775
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产品详情

D07-7B气体质量流量控制器(5SCCM-10SLM)

 

D07-7B气体质量流量控制器(5SCCM-10SLM)产品用途:

质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

产品特点:

★高性能价格比、普通型产品

★橡胶密封、模拟电路的MFC

★7A型的更新换代型

★管状分流,使用寿命长

 

技术参数:

满量程流量范围(N2

5SCCM~10SLM

控制范围

2~100%F.S.

阀类型(及阀初始状态)

电磁调节阀 (常闭)

准确度

±1.5%F.S.

线性

±0.5~1.5%F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤7sec

工作温度范围

5~45℃

工作压差

0.1~0.5MPa

耐压

3MPa

漏气率

1×10-8atm.cc/sec He

通道湿材料

316L不锈钢、密封材料

静密封材料

氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶)

电连接器

D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale

动密封材料

氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯)

接头选择

VCR    1/4”

双卡套   1/4”或φ6、φ3

重量

1.1Kg

 

详细参数:

产品型号D07-7B
产品类型普通型
流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度±1.5%F.S.
重复精度±0.2% FS
线性±1%F.S.
响应时间≤10sec
工作温度范围(5~45)°C
耐压3MPa
密封材料氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号(0~5)VDC
电源±15V
阀类型常闭
温度系数- 无 -
零点飘移指标- 无 -
电气连接D sub 15 pins Female
工作压差范围(0.1~0.5) MPa
漏率1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He)
标准接头形式双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分- 无 -
表面粗糙度- 无 -
抗电磁干扰- 无 -
重量1.1Kg
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