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S48 300/HMT联动控制高精度数字式气体质量流量控制器

S48 300/HMT联动控制高精度数字式气体质量流量控制器
1.数字式气体质量流量控制器
2.高精度
3.Z多可实现16台联动控制气体质量流量控制器

  • 产品型号:S48 300/HMT
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-02
  • 访  问  量:2443
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产品详情

S48 300/HMT联动控制高精度数字式气体质量流量控制器

1.数字式气体质量流量控制器
2.高精度
3.zui多可实现16台联动控制

 

S48 300/HMT联动控制高精度数字式气体质量流量控制器特点:

  • 高精度
  • 良好的线性
  • 快速的响应
  • 对零点漂移有效的抑制
  • 电磁阀使用寿命≥100万次
  • 化的零配件供应——传感器、分流器、精密电阻等关键部件日本进口
  • 通讯接口优势
  • 多台控制器可以同时运行

技术参数:

编号项目S48 300/HMT
1流量规格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,,5,10,20,30,50)L/min
2调节阀类型电磁调节阀
3调节阀静止状态常闭
4安装角度任意
5流量控制范围2%~99%
6准确度±1.0% S.P.(≥30% F.S.)
±0.30% F.S.(<30% F.S.)
7线性±0.5% F.S.
8重复精度±0.2% F.S.
9响应时间 ≤1s
10工作压差范围(0.05~0.3)MPa(<10L/min):
(0.1~0.3)MPa(10~50)L/min;
 (0.15~0.3)MPa 50L/min
                
11耐压 ±3MPa
12工作环境温度55℃~50℃
13精度保证温度15℃~35℃
14接触气体材料316L,PTFE,Viton或其他
15漏率<1×10-8 Pa•m3/s 
16接头Swagelok:Φ6mm,1/4″ 
VCR:1/4″或其他
17输入信号 数字:RS232/RS485
 模拟:(0~+5.00)V,输入阻抗>100KΩ

VCR:1/4″3/8″
18输出信号 数字:RS232/RS485
 模拟:(0~+5.00)V,负载能力≤3mA

 
19通讯接口数字:RS232/RS485  波特率:4800/9600/19200Bps
协议丛机   设备号可选范围:0~15

 
20供电电源±15V(±5%)
(+15V,150mA;-15V,200mA)
21重量 0.9
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